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銳控自動化

Sharp automation control

銳控自動化

創(chuàng)專業(yè)技術(shù),建信譽(yù)企業(yè)

專業(yè)從事工控自動化一站式服務(wù)

24小時(shí)服務(wù)熱線:

138-2916-12000769-22102906
4產(chǎn)品中心
SEMISTAR-VD95D

SEMISTAR-VD95D

 詳情說明

大動作范圍:最大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人。 手臂采用連桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高鋼性。 采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動實(shí)現(xiàn)低放出氣體性能。 手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。

項(xiàng)目 規(guī)格 備注
名稱 SEMISTAR-VD95D
機(jī)型 XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)形(4個(gè)自由度)
動作范圍 L,R軸(伸縮) 2300mm

S軸(旋轉(zhuǎn)) -170°~+170°

U軸(升降) 150mm
動作時(shí)間*1
(最高速度運(yùn)作時(shí))
L,R軸(伸縮) 3.2秒以下 2300mm伸縮距離
S軸(回轉(zhuǎn)) 3.8秒以下 340deg旋轉(zhuǎn)距離(但L,R=0)
U軸(升降) 2.5秒以下 150mm升降距離
重復(fù)定位精度*2 各軸±0.3mm 抓手安裝部分中心位置時(shí)
手臂抖動精度 ±0.3mm以下 水平方向,抓手安裝部分中心位置時(shí)
負(fù)載 95KG/手臂 含抓手重量
容許慣性力矩(CD2/4) 最大118kg·m2 含抓手重量,抓手安裝部分中心位置時(shí)
耐真空度 1*10-6Pa
本體質(zhì)量 1500kg
適用控制柜式樣 ERDR-VD0095D-A00 三相AC200V,3.0kVA

*1:動作節(jié)拍不保證帶有基板時(shí)搬運(yùn)速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時(shí),會影響動作節(jié)拍,請重新設(shè)定。
*2:依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動作重復(fù)定位精度。但有無工件時(shí)負(fù)載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。

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